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電子級二乙烯三胺五甲叉膦酸DTPMPA

Electronic Grade Diethylene Triamine Penta (Methylene Phosphonic Acid) (DTPMPA)

一、性能與用途

電子級DTPMPA具有很強的金屬離子螯合能力，在半導體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝，可以提高研磨效率和光潔度，在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺，提高銅箔表面光潔度。

二、技術指標

項  目 指  標
外 觀 棕黃色或棕紅色粘稠液體
活性組分/% ≥50.0
單金屬離子/ppb <1000ppb（可根據客戶需求定制）

三、包裝與貯存

電子級DTPMPA用電子級塑料桶包裝，每桶25kg、200kg，可根據客戶需求定制。貯于室內陰涼處，貯存期為十二個月。

四、安全與防護

電子級DTPMPA為酸性液體，操作時注意勞動防護，應避免與皮膚眼睛等接觸，接觸后應立即用大量清水沖洗。