PHS樹脂

一、產品性能與用途

PHS樹脂是一種用于深紫外光刻膠的高性能感光樹脂，廣泛應用于半導體芯片制造中的光刻工藝環節。其核心性能包括高純度、高分辨率、優異的熱穩定性和化學穩定性，能夠滿足半導體制造對高精度、高可靠性的嚴苛要求，有效提升光刻膠在芯片圖案化過程中的成像質量和工藝穩定性。此外，還可用于電子封裝材料、涂料和粘合劑等領域。

二、技術指標

檢測項目	指標-1	指標-2
外觀	淡黃色透明液體	淡黃色透明液體
固含量/%	≥35.0	≥35.0
重均分子量(Mw)	10000±2000	14000±1000
分子量分布寬度(PD)	≤1.55	≤1.25
單金屬離子含量/ppb	＜10	＜10

注：可根據客戶要求定制不同結構、分子量、金雜含量的產品。

三、包裝與貯存

包裝：采用電子級塑料桶包裝，每桶重量1kg、2kg、5kg、10kg或20kg。可根據客戶需求定制。貯存：陰涼處儲存，避免陽光直射，遠離熱源，貯存期12個月。

四、安全防護

操作時注意勞動保護，應避免與皮膚、眼睛等直接接觸，接觸后用大量清水沖洗。